派克SMSQ2MICRO30102超高纯束缚膜片减压阀工作原理

PARKER派克膜片减压阀产品描述：

UHP 超高纯束缚膜片减压阀 (压力高达 250 psig) – SMSQ2Micro系列 | #45800745-1

SMSQ2MICRO30102

派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上*的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制，提高了MFC（质量流量控制器）的性能，这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成，以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.

减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体，为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计，提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹，这样大限度减少粒子生成和截留，进一步提高工艺清洁度和吹扫性能.

PARKER超高纯束缚膜片减压阀工作原理：

SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备，提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean? 316L不锈钢。Vericlean? 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22?。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合，使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命，入口压力高达250. SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口，符合SEMI模块化接口规范.SMSQ2Micro系列减压阀的内部（阀座）密封和金属外部密封通过氦泄漏测试，使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

PARKER派克膜片减压阀特点和优势:

有C 和 W密封贴面安装1-1/8

和1-1/2

阀体尺寸

极低粒子数

束缚膜片有效减少接液部件的弹簧，增加安全性

SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv

出口压力范围： -10 psig 到 60 psig

内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He

外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He

5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理

工作压力范围：-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C)

PARKER派克膜片减压阀应用:

腐蚀性和特殊气体

半导体工具

工具挂钩

气体柜

阀组箱 (VMB)